Soutenance de thèse : Thomas NASSIET

Photoluminescence industrielle : Une application innovante pour le développement et le contrôle des technologies imageur

Doctorant : Thomas NASSIET

Laboratoire INSA : INL

Ecole doctorale : ED34 Matériaux de Lyon

Les capteurs d’image CMOS sont des dispositifs microélectroniques qui présentent des enjeux importants concernant la passivation de leurs interfaces et la présence de contaminations métalliques. Ces deux aspects sont des sources de défectivité qui peuvent significativement impacter leur fonctionnement. Il est alors important de les contrôler régulièrement au cours du processus de fabrication afin de détecter leur dégradation.
La photoluminescence est une technique de caractérisation, introduite récemment dans l’industrie microélectronique en tant que système de mesure qualitatif, permettant d’imager les fluctuations de la durée de vie et de la longueur de diffusion des porteurs de charges dans le silicium. Les travaux de thèse ont consisté dans un premier temps à vérifier la sensibilité de cette technique à la présence de contamination métallique et à la passivation des interfaces. Enfin, des applications davantage orientées vers l’industrie ont montré un potentiel certain qui pourra, dans le futur, permettre à cette technique de caractérisation, d’évoluer vers un contrôle des dispositifs en ligne de production.