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02 déc
02/12/2019 10:30

Sciences & Société

Soutenance de thèse : Pierre-Vincent GUENERY

Nanostructures d’oxyde d’indium pour les mémoires résistives RRAM intégrées en CMOS Back-End-Of-Line

Doctorant : Pierre-Vincent GUENERY

Laboratoire INSA :  INL - CNRS
Ecole doctorale : ED160 Électronique, Électrotechnique, Automatique (E.E.A)

Les mémoires informatiques actuelles qui ne sont que l'extrême miniaturisation de la technologie développée dans les années 1960, atteignent des limites technologiques difficilement surmontables et très couteuses. Les mémoires doivent donc se réinventer par une modification profonde de leur forme, comme le développement de structures en 3 dimensions, ou par l'utilisation de technologies innovantes. C'est un phénomène récent dans le domaine des mémoires qui nous a intéressé au cours de cette thèse. Il consiste à maîtriser électriquement et de manière réversible la résistivité d'une structure pour coder de l'information de manière pérenne, d'où son nom de mémoires résistive non volatile. Un grand nombre de recherches sont menées pour comprendre et maîtriser cette technologie dont le principal défaut est son manque de reproductibilité. Nous proposons une approche originale consistant à l'intégration de nanoparticules d'oxyde d'indium dans la structure d'une mémoire résistive qui est directement compatible avec les puces déjà existantes. L’intégration de particules a pour but d'aider à rendre ces mémoires plus homogènes par un contrôle du comportement électrique de la structure. L'étude menée porte dans un premier temps sur les défis liés à la fabrication de la mémoire et en particulier sur le dépôt de nanoparticules. Pour avoir un effet bénéfique, la fabrication de celles-ci doit être parfaitement maîtrisé. Nous détaillons ensuite à la caractérisation électrique des mémoires et à la compréhension des phénomènes qui sont à l’origine du changement de résistivité des matériaux afin de tenter de mieux les contrôler.

Informations complémentaires

  • Amphithéâtre AE01 (Bâtiment Gustave Ferrié) - Villeurbanne

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