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02 Oct
02/10/2020 10:00

Sciences & Société

Soutenance de thèse en visioconférence : Julien SOREL

Tomographie électronique analytique : automatisation du traitement de données et application aux nano-dispositifs 3D en micro-électronique.

Doctorant : Julien SOREL

Laboratoire INSA : Mateis

Ecole doctorale :  ED34 : Matériaux de Lyon

Ce travail porte sur l’automatisation du traitement des données de tomographie électronique analytique appliquée aux nano-dispositifs électroniques. La technique utilisée est la spectroscopie de dispersion en énergie des rayons-X en mode balayage en microscopie électronique en transmission (STEM-EDX : Scanning Transmission Electron Microscopy, Energy Dispersive X-ray spectroscopy). Si la tomographie électronique STEM-EDX a bénéficié d’avancées technologiques récentes, comme de nouvelles sources électroniques ‘X’-FEG (Field Emission Gun) et des détecteurs X sensibles, les SDD (Silicon Drift Detectors), elle reste chronophage avec une statistique de comptage souvent faible pour éviter des durées prohibitives et une dégradation de l’échantillon par irradiation électronique. L’empilement des projections STEM-EDX, acquises sous différents angles d’inclinaison, est par ailleurs très volumineux et les logiciels commerciaux actuels ne peuvent pas le traiter automatiquement et de manière optimale. Pour améliorer cette situation, nous avons développé un programme utilisant la librairie Hyperspy en langage python, dédiée au traitement de données multi- dimensionnelles. L’analyse statistique multivariée permet d’optimiser et d’automatiser le débruitage des données, la calibration des spectres et la séparation des raies d’émission X superposées pour l’obtention de reconstructions tridimensionnelles quantitatives. Une technique de reconstruction avancée, l’acquisition comprimée, a aussi été mise en œuvre, diminuant le nombre de projections sans réduire l’information 3D finale. La méthode développée a été utilisée pour l’analyse chimique 3D de quatre nanostructures issues de la microélectronique : des transistors FET multi-grilles, HEMT et GAA, et un film mince GeTe. Les échantillons ont été taillés en pointe par FIB (Focused Ion Beam: Faisceau d’ions focalisés), et les données obtenues sur un microscope Titan Themis muni d’un système à 4 détecteurs  SDD. L’évaluation du programme atteste qu’il permet d’obtenir des résultats précis et fiables sur les architectures 3D étudiées. Des pistes d’améliorations sont discutées en perspective d’un futur logiciel dédié au traitement de données en tomographie électronique analytique.